三坐標測量儀是通過XYZ三個軸測量各種零部件及總成的各個點和元素的空間坐標，來評價長度、直徑、形狀誤差、位置誤差的一種測量設備。配備了高精度的導軌、測頭和控制系統，并使用計算機程序來自動控制檢測流程，計算輸出測量結果。
    三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
    三坐標測量儀對被測體沒什么特殊要求,要根據被測物體選擇不同的測頭及測針。
    三坐標測量儀作為當今工業測量領域中應用是非常廣泛的，目前已廣泛應用于汽車工業，航空航天工業，機床工具，國防軍工，電子和模具等領域。